全自動單片清洗設備
Xtrim-SC-CL300
設備概述
Loadport*4、Multi Chambers、Robot、CDU、e-Flow
設備亮點
功能完備
Nano-Spray、Brush Clean、Mega-Sonic、DIW、N2等基本配置可選。
可根據(jù)客戶需要搭配應對的藥水，如O3/DHF/SC1。
節(jié)約藥液
支持藥液回收。
支持多種藥液。
支持by片數(shù)/時間切換recipe，充分延長藥水使用壽命。
標準化模塊組成
設備由標準化模塊構成，組裝高效。
內(nèi)部空間緊湊，節(jié)省空間。
自動化生產(chǎn)
Robot自動上下片，Mapping。
可連續(xù)自動化工藝處理。